A produção em série usando a tecnologia de processo Intel 18A dispensará scanners EUV avançados de alto NA

Na Innovation 2023, a Intel atualizou seus planos para usar instalações de litografia ultravioleta de alta abertura numérica (High-NA EUV) como base de seus processos futuros. De acordo com o novo plano, a produção em massa de produtos baseados na tecnologia de processo Intel 18A será realizada em equipamentos existentes, e scanners EUV de alto NA serão usados ​​para produzir componentes de gerações subsequentes.

Fonte da imagem: anandtech.com

Os sistemas de alto NA representam uma nova geração de máquinas de fotolitografia ultravioleta ultraduras. Eles são equipados com ótica com abertura numérica de 0,55 – as máquinas EUV de primeira geração usam ótica com abertura numérica de 0,33. O novo tipo de scanner será indispensável na produção de produtos com padrões inferiores a 2 nm ou 20 Å. Em 2021, a Intel apresentou um roteiro segundo o qual se comprometeu a dominar “5 processos técnicos em 4 anos”, e também anunciou que se tornaria o principal cliente de máquinas EUV de alto NA da ASML e receberia a primeira cópia de produção de tais uma máquina – ela teve que estabelecer a base para o nó Intel 18A.

Mas depois de 2021, a empresa ajustou seus planos em uma direção “boa” – conseguiu se adiantar e em 2022 soube-se que no segundo semestre de 2024 ou 2025 a produção com tecnologia Intel 18A seria descontinuada. Mas dado o facto de a data de lançamento das máquinas High-NA EUV da ASML holandesa não ter mudado, surgiu a questão de como estes sistemas se enquadrarão nesta estratégia, e em particular na parte relativa ao nó Intel 18A. Acontece que esta tecnologia não permite mais trabalhar com equipamentos avançados – a produção em massa de componentes baseados em Intel 18A será realizada em equipamentos existentes, ou seja, em scanners EUV ASML NXE 3000. E a linha 18A só se tornará um campo de testes para equipamentos EUV de alto NA – na produção em massa, será usado para produtos de gerações subsequentes.

O CEO da Intel, Pat Gelsinger, disse em um discurso no Innovation 2023 que a primeira máquina EUV de alto NA chegará no final deste ano. Ele até brincou que seria um presente de Natal para a Dra. Ann Kelleher, vice-presidente executiva e diretora de desenvolvimento de tecnologia da Intel. A fabricante, segundo ele, tem feito bons progressos nos trabalhos do Intel 18A: o PDK 0.9 (Process Design Kit) está quase pronto – a última versão de pré-produção. O lançamento da produção em massa baseada nesta tecnologia está previsto para o primeiro trimestre de 2024. Presumivelmente estamos falando de processadores da família Panther Lake.