A Huawei registrou um pedido de patente para um scanner EUV – pode abrir tecnologias sub-7nm para a China

A Huawei entrou com um pedido de patente descrevendo um scanner de litografia ultravioleta ultra-rígido (EUV), informa a UDN. Se a empresa conseguir construir tal scanner e alcançar um desempenho decente, tempo de atividade longo e rendimentos de produto aceitáveis, as empresas chinesas terão acesso a tecnologias de classe abaixo de 7 nm.

Fonte da imagem: huawei.com

A Huawei enviou documentos à Administração Nacional de Propriedade Intelectual em meados de novembro, o aplicativo está registrado sob o número 202110524685X, de acordo com MyDrivers. O pedido de patente descreve os principais componentes do scanner EUV, incluindo um gerador de luz de 13,5 nm, um conjunto de espelhos e um sistema de litografia. Infelizmente, este documento não representa a capacidade real da Huawei de construir esta máquina complexa, que inclui muitos componentes avançados capazes de manter uma operação perfeitamente coordenada por um longo período de tempo. Além disso, a produção terá que ser fornecida com as matérias-primas necessárias.

O scanner EUV com abertura numérica de 0,33 é o equipamento mais avançado para fabricação de semicondutores atualmente – muitas empresas tentaram construí-lo, mas apenas o ASML holandês alcançou sucesso ao custo de mais de uma década de trabalho e suporte financeiro da Intel , Samsung e TSMC. Apenas cinco empresas no mundo usam ou estão prestes a usar esse equipamento: Intel, Micron, Samsung, SK Hynix e TSMC. Mas eles também desenvolveram de forma independente ou planejam desenvolver processos tecnológicos bastante complexos que possibilitarão o uso dos recursos do scanner EUV. A SMIC chinesa não conseguiu obter tais equipamentos, embora já tivessem sido adquiridos – ou seja, há uma demanda por eles no país, e a Huawei aparentemente está tentando satisfazê-la.

A Huawei, gigante da tecnologia com receita anual de US$ 100 bilhões, está trabalhando em vários projetos em diferentes direções: na indústria de semicondutores, seus objetivos não se limitam ao lançamento de chips – a empresa está claramente interessada em criar equipamentos para a produção de pastilhas de silício.

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