Canon começou a vender equipamentos para produção de chips de 5 nm sem fotolitografia

Durante muito tempo, a falta de preocupação das autoridades americanas sobre a capacidade das empresas chinesas de obterem equipamentos de litografia do Japão baseou-se na crença de que os fabricantes locais ofereciam soluções principalmente para litografia madura. A Canon quebrou esse mito esta semana ao começar a fornecer equipamentos para a fabricação de chips de 5 nm, mas usando um princípio operacional diferente das máquinas da líder da indústria ASML.

Fonte da imagem: Canon

Pelo menos, como explica a Bloomberg, a instalação da nova geração Canon FPA-1200NZ2C permite aplicar um padrão em wafers de silício com tamanho mínimo de 14 mm2, o que permite obter chips que, nas suas características, correspondem a 5- nm análogos dos principais fabricantes do mundo, fabricados usando a chamada litografia EUV. Através de melhorias e refinamentos consistentes destes equipamentos, a Canon espera mesmo criar condições para a produção de produtos de 2nm nestas máquinas. Ao mesmo tempo, o método de processamento de wafers de silício usado pela Canon tem mais em comum com a impressão do que com a fotolitografia como tal, uma vez que o princípio da projeção de imagem não é usado de forma alguma para transferir estruturas microscópicas de circuitos integrados para um wafer de silício.

A relativa novidade da tecnologia neste contexto agrava os problemas do governo dos EUA, que procura proibir o fornecimento à China de qualquer equipamento que permita às empresas locais produzir chips avançados. Certos acordos no domínio da litografia já foram alcançados entre as autoridades dos EUA e do Japão, mas o novo tipo de equipamento Canon não é abrangido por eles. Os representantes da empresa ainda não comentaram se as regras japonesas de controle de exportação regularão a possibilidade de fornecimento desses equipamentos à China.

A litografia nanoimpressa há muito é considerada uma alternativa mais barata à litografia óptica, e fabricantes de chips de memória como SK hynix e Kioxia já experimentaram seu uso no passado. Este último até testou o equipamento de litografia nanoimpressa da Canon antes de estar pronto para produção em massa. Nessa fase, potenciais clientes apresentavam reclamações sobre os equipamentos, principalmente relativamente ao elevado nível de defeitos dos produtos.

O concorrente ASML da Holanda continua sendo até agora o principal fabricante mundial de sistemas de litografia que permitem a produção de chips com padrões tecnológicos de 5 nm e inferiores. Este ano, ela espera aumentar o faturamento em 30%, e poderá atender todos os pedidos de seus equipamentos somente no ano que vem, pelo menos. Em 2014, a Canon adquiriu a Molecular Imprints, desenvolvedora de sistemas de litografia de nanoimpressão, e desde então tem feito sérios esforços para desenvolver tecnologias relacionadas. A primeira nova instalação de litografia da Canon ao norte de Tóquio em muito tempo estará operacional em 2025. A Canon também fornece seus produtos para atender às necessidades da TSMC de Taiwan, o maior fabricante terceirizado de chips do mundo.