A litografia de semicondutores usando radiação ultravioleta ultravioleta foi dominada por apenas dois fabricantes de chips, mas não há dúvida de que é o futuro. E como qualquer futuro, oferece aos pioneiros a oportunidade de se estabelecerem em um novo mercado. Em particular, os materiais para processos técnicos usando scanners EUV começarão a ser produzidos por duas empresas japonesas, entre as quais estará a conhecida empresa Fujifilm.
O Nikkei anunciou hoje que a Fujifilm Holdings e a Sumitomo Chemical começarão a fornecer materiais para chips de próxima geração em 2021, o que pode ajudar a reduzir o tamanho dos chips para smartphones e outros dispositivos e torná-los mais eficientes em termos de energia. Estamos falando sobre o fornecimento de fotorresiste – um material fotossensível que desempenha um papel dominante na corrosão dos cristais de silício.
As empresas japonesas há muito se vêem sobrecarregadas com a oferta de fotorresiste. Por exemplo, hoje duas empresas japonesas – JSR e Shin-Etsu Chemical, que controlam cerca de 90% desse mercado, fornecem principalmente fotoresiste para operação de scanners EUV. Essa posição de praticamente monopólio permitiu até que as autoridades japonesas ameaçassem a Coreia do Sul com sanções, o que sacudiu o mercado de chips há pouco mais de um ano. Felizmente, então tudo estava resolvido, e o aparecimento de dois outros fornecedores de fotorresistente para litografia EUV amenizaria ainda mais a situação, embora também sejam japoneses.
A Fujifilm, continua a fonte, está investindo 4,5 bilhões de ienes (2,6 milhões) em equipamentos em uma fábrica na província de Shizuoka, a sudoeste de Tóquio, para iniciar a produção em massa do fotorresiste no próximo ano. De acordo com representantes da empresa, seu fotorresistente deixa para trás uma quantidade mínima de material residual no silício, o que reduz significativamente a probabilidade de defeitos.
A Sumitomo Chemical completará a planta de Osaka com uma gama completa de capacidades de fotorresiste (do design à produção) no início do ano fiscal de2022. Mas ela, como conhecida fabricante de fotorresiste para scanners de 193 nm, já assinou contratos para produtos futuros com antecedência. É verdade que ele ainda não revelou com quem. É possível que estejamos falando sobre TSMC. Nesse momento, a questão da produção de fotoresiste para processos técnicos de 3 nm será relevante, para os quais o fotoresiste moderno não é adequado por muitas razões. A projeção na faixa ultravioleta ultravioleta requer seu próprio fotorresiste e quanto mais fina a tecnologia do processo, maiores os requisitos para ela.