Como a maior fabricante de chips sob contrato do mundo, a TSMC de Taiwan se mostra bastante conservadora quanto à iminente introdução de equipamentos EUV de alta NA, que custam US$ 400 milhões por unidade. De qualquer forma, quatro clientes da ASML, que produz os scanners correspondentes, já operam 10 desses sistemas de litografia em suas instalações e laboratórios.
Fonte da imagem: ASML
Greet Storms, vice-presidente sênior da ASML e chefe da divisão de máquinas de litografia, fez este anúncio na conferência Semicon Taiwan 2026, que está acontecendo esta semana em Taiwan. Segundo ela, além dos dez scanners de litografia EUV de alta abertura numérica (High-NA) já em operação, outros três estão em fase de entrega e montagem. A Intel pode ser considerada pioneira na implementação desse tipo de equipamento na fabricação de processadores, já que o utiliza para realizar algumas operações de fabricação na família de chips Panther Lake, baseada na tecnologia Intel 18A.
A Samsung e a SK hynix estão interessadas em utilizar esse equipamento na produção de memórias e, portanto, cada uma possui pelo menos uma unidade do sistema de litografia ASML TwinScan EXE:5200B. Pelo menos cinco gerações de padrões de litografia utilizados na produção de chips de memória DRAM podem ser implementadas com esse equipamento. Isso simplifica as ferramentas e reduz o próprio ciclo de produção, o que é importante para as empresas sul-coreanas mencionadas, dada a alta demanda por memória.
Segundo um porta-voz da ASML, os equipamentos da marca já processaram 1,35 milhão de wafers de silício. O sistema TwinScan EXE:5200B, por exemplo, é capaz de processar 135 wafers de silício por hora, o que já é suficiente para sua utilização na produção em massa de chips. Até o final da década, a produtividade aumentará para 180 ou até mesmo 210 wafers de silício por hora, mas isso exigirá a atualização para modelos de equipamentos mais avançados, que a ASML oferecerá aos clientes até lá.
Este anoA TSMC, no entanto, adquiriu vários scanners de litografia da ASML da mesma classe, embora atualmente planeje utilizá-los apenas para experimentos em laboratório. Dado o porte da empresa, a implementação de tais equipamentos em produção em massa exigiria investimentos colossais, que a empresa ainda não está preparada para assumir.