ASML relatou no Imec ITF World 2024 que quebrou seu próprio recorde de densidade de transistor com seu primeiro scanner de litografia de alta abertura numérica (High-NA), estabelecido há pouco mais de um mês. A empresa também anunciou o desenvolvimento futuro de hardware Hyper-NA mais avançado e traçou um plano para dobrar o desempenho, relata Tom’s Hardware.
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O ex-presidente e CTO da ASML, Martin van den Brink, que agora trabalha como consultor para a empresa, disse que a ASML desenvolverá um scanner Hyper-NA que é mais avançado do que o High-NA existente. Ele também traçou um plano para reduzir o custo de fabricação de chips em equipamentos ultravioleta ultra-duros (EUV), aumentando a velocidade de processamento para 400-500 wafers de silício por hora – mais que o dobro da taxa atual de 200 wafers por hora. E ele propôs um design modular unificado para as promissoras linhas de equipamentos EUV da ASML.
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Ao ajustar ainda mais o equipamento, relatou Martin van den Brink, a ASML conseguiu imprimir linhas com uma densidade de 8 nm em equipamento EUV de alta NA – um recorde para um scanner de produção. A empresa bateu o recorde anterior em abril, imprimindo linhas com densidade de 10 nm em uma máquina em um laboratório conjunto com a Imec em Veldhoven, na Holanda. Para efeito de comparação, as máquinas ASML Low-NA EUV padrão são capazes de imprimir elementos de até 13,5 nm (dimensões críticas ou CD), e o novo scanner EXE:5200 High-NA permite criar transistores com elementos de até 8 nm, e ASML demonstrou que atende às características declaradas.
Agora a empresa precisa trabalhar na otimização do sistema e prepará-lo para produção em massa. Este trabalho já está em andamento na Holanda, e a Intel, o único fabricante de chips com um sistema High-NA totalmente montado, está seguindo os passos do desenvolvedor à medida que entra em operação em sua fábrica D1X em Oregon. Inicialmente, a Intel irá utilizá-lo em pesquisa e desenvolvimento, após o que lançará a produção de produtos da classe 14A em EXE:5200. Van der Brink mencionou mais uma vez a máquina Hyper-NA EUV, mas uma decisão final sobre ela ainda não foi tomada – a ASML provavelmente ainda está avaliando o interesse da indústria.
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Uma máquina EUV padrão moderna trabalha com luz em um comprimento de onda de 13,5 nm e uma abertura numérica de 0,33 (esta é uma medida da capacidade do equipamento de focar a luz). Equipamentos de alto NA 0,55 usam o mesmo comprimento de onda, mas podem imprimir recursos menores. O sistema Hyper-NA de que Martin van der Brink está falando manterá o mesmo comprimento de onda da luz, mas a abertura numérica aumentará para 0,75, permitindo a impressão de recursos ainda menores. A empresa não indicou o tamanho crítico dos elementos para tais equipamentos, mas forneceu o passo metálico correspondente ao Hyper-NA, ou seja, a distância mínima entre os elementos metálicos no chip – esse valor varia de 16 nm nos nós A3 a 10 nm em nós inferiores a A2 e data da segunda metade da próxima década.