A TSMC começará a instalar o primeiro scanner de litografia High-NA EUV antes do final do mês

A TSMC conseguiu ficar à frente da Intel no lançamento da produção em massa de equipamentos EUV, mas no segmento mais avançado de High-NA EUV, a empresa ficou atrás de seu concorrente americano. A Intel já usa a máquina High-NA EUV da ASML para pesquisa e desenvolvimento, e a TSMC começará a instalar o primeiro scanner desse tipo apenas este mês, aprenderam DigiTimes e United Daily News.

Fonte da imagem: asml.com

A primeira unidade ASML Twinscan EXE:5000 ultra-dura ultravioleta de alta abertura numérica (High-NA EUV), construída especificamente para aplicações de P&D, será instalada nas instalações da TSMC em Hsinchu, em Taiwan. O maior fornecedor de semicondutores do mundo começará a receber componentes de máquinas em setembro, seguido de vários meses de montagem e calibração antes de testar a tecnologia de semicondutores de próxima geração.

As avançadas tecnologias de processo N2 (classe de 2 nm) e A16 (classe de 1,6 nm) da TSMC serão executadas exclusivamente em hardware de baixo NA 0,33 EUV. O scanner High-NA EUV (abertura numérica de 0,55) será utilizado para a tecnologia de processo A14 (classe de 1,4 nm) aproximadamente em 2028, embora a empresa ainda não tenha feito declarações oficiais sobre o assunto. Mas sua implementação causará dificuldades adicionais tanto para fabricantes quanto para desenvolvedores, então a TSMC não tem pressa em implantar tais scanners.

Outro argumento que não é a favor das máquinas de nova geração é o preço, que, como disse Kevin Zhang, responsável pelo desenvolvimento de novos processos tecnológicos na TSMC, gostou menos do que o desempenho. Cada máquina High-NA custa cerca de US$ 400 milhões, embora o presidente da empresa, C.C. Wei, tenha conseguido negociar um desconto de quase 20% na compra de várias unidades de uma só vez. Dado que a TSMC é o principal fabricante de litografia EUV e possui 65% da capacidade global de EUV da ASML, o fabricante holandês está naturalmente inclinado a fazer acordos com uma fábrica que é um dos seus maiores clientes.