Samsung está testando um novo material para anéis de foco usados ​​na fabricação de chips

A Samsung desenvolveu e agora está testando um novo material para a fabricação de anéis de foco para scanners litográficos, que são usados ​​na fabricação de chips, segundo a TheElec. Os anéis mantêm a placa no lugar para manter o fluxo de plasma e evitar a incrustação das extremidades.

Fonte da imagem: Samsung

No passado, quartzo e silício eram usados ​​para fazer anéis de foco. Mas à medida que mudamos para os métodos de gravação a seco, a demanda por anéis de carboneto de silício (SiC) aumentou, que agora são usados ​​bastante ativamente, mas a Samsung também está preparando um substituto para eles. Observe que os anéis de SiC são mais duráveis ​​do que os anéis de silício, o que ajuda os fabricantes de chips a reduzir o custo de fabricação de seus produtos. Os anéis de carboneto de silício são substituídos a cada 15-20 dias e o silício – a cada 10-12 dias.

A Samsung está considerando agora o carboneto de boro (B4C) para substituir o carboneto de silício. A empresa coreana está trabalhando em novos anéis de foco com um parceiro que possui a tecnologia de carboneto de boro necessária para testar os anéis, segundo fontes da TheElec.

Anéis de foco

Assim como o SiC, o B4C é resistente a altas temperaturas e plasma. Ao mesmo tempo, é mais difícil, o que permite o uso de anéis de foco ainda mais longos. No entanto, a Samsung ainda tem que resolver uma série de problemas técnicos. Segundo fontes, na atual fase de testes, os especialistas da empresa constataram danos na estrutura do material durante o uso. A Samsung também precisa avaliar a viabilidade econômica da substituição do SiC pelo B4C.

A SK hynix também considerou substituir o SiC por B4C e fez pesquisas nesse sentido, disseram as fontes. Mas a empresa suspendeu o projeto devido ao custo insatisfatório de mudar para uma nova tecnologia.